B.主要技術(shù)指標(biāo):
1、測量原理:觸針法,差動(dòng)電感傳感器;
2、測量范圍:4/40/400μm;
3、示值誤差:≤±5%;
4、最小分辨力:0.001μm
5、取樣長度:0.25,0.8,2.5mm;
6、評定長度:N倍取樣長度,N=1,2,3,4,5;
7、數(shù)字濾波器:國際、相位校正、高斯、不濾波;
8、測量參數(shù):Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr(符合GB/T 3505-2000定義);
9、輪廓圖形:直接輪廓、濾波輪廓、Rmr曲線,幅度分布曲線;
10、輪廓圖形的垂直放大倍率: 10,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000;
11、輪廓圖形的水平放大倍率:2,5,10,20,30,40,50,100,200,500,1000,2000,5000,10000;
12、驅(qū)動(dòng)箱滑行長度:40mm;
13、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度:0.5mm/s、1mm/s;
14、傳感器返回形式:自動(dòng);
15、傳感器測針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm;
16、立柱結(jié)構(gòu):手動(dòng)升降;
17、立柱垂直測量高度:310mm;
18、工作底臺:400mm×600mm 大理石平臺。
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